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用惠斯顿电桥来测量温度传感器的温度变化差值。惠思顿电桥的输出通过ADC模数转换成12位的数字信号。根据被测气体的流量大小输出0-5VDC或4-20mA信号。混合气体在AFC质量流量控制器的内部,流经带有孔环的电磁阀。这个闭环不间断地控制回路,监控流量输出并保证流量在设定范围内。流量在一定范围内不受温度压力的影响。AFC质量流量控制器包括一个可以在特殊模式下任何流量都可以随意调节流量的电磁控制阀。美国Aalborg公司,http://www.aalborg.com,这个阀作为一个安全特性是常闭式的在能量储运损耗时确保气体流量是关闭的。
美国AALBORG公司是世界上著名的气体质量流量计的生产厂家,其产品广泛用于半导体、平板显示、数据存储、真空镀膜、太阳能电池、材料科学 、石油化工、环保等领域。 产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、美国Aalborg公司环路保护、备总量计数器。典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺 。主要产品包括精密浮子流量计,工业金属流量计,精密针阀,精密PTFE针阀,气体质量流量计,气体质量流量控制器等。
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